[发明专利]磁流变平面抛光用多级真空吸附装置及其加工方法

摘要

本发明是一种磁流变平面抛光用多级真空吸附装置及其加工方法。本发明的装置包括真空吸附发生装置、不同级数转换装置、真空吸附装置，真空吸附发生装置包括有导气管、旋转接头、基体、主轴、导气接头，不同级数转换装置包括有连接套、端盖、手动球阀、连接管，真空吸附装置包括有三级固定件、三级多孔陶瓷盘、二级固定件、二级多孔陶瓷盘、一级固定件、一级多孔陶瓷盘。本发明的磁流变平面抛光用多级真空吸附装置基于磁流变效应在不磨损多孔陶瓷盘的情况下能对不同尺寸的光学元件通过真空吸附的方式进行装夹，该真空吸附装置成本低、结构简单，吸附可靠，方便实用，可适用于不同尺寸光学元件平面的超光滑磁流变抛光。

主权项

1.一种磁流变平面抛光用多级真空吸附装置，其特征在于包括真空吸附发生装置、不同级数转换装置、真空吸附装置，真空吸附发生装置包括有导气管（1）、旋转接头（2）、基体（3）、主轴（16）、导气接头（18），不同级数转换装置包括有连接套（4）、端盖（5）、手动球阀（13）、连接管（14），真空吸附装置包括有三级固定件（6）、三级多孔陶瓷盘（7）、二级固定件（8）、二级多孔陶瓷盘（9）、一级固定件（10）、一级多孔陶瓷盘（11），其中导气管（1）与旋转接头（2）固定在一起，旋转接头（2）固定在主轴（16）的上方，主轴（16）通过基体（3）进行固定，连接套（4）装设在主轴（16）的底部，且与主轴（16）固定在一起，端盖（5）安装在连接套（4）的外侧，一级固定件（10）装设在连接套（4）的下部，二级固定件（8）套装在一级固定件（10）的外侧，三级固定件（6）套装在二级固定件（8）的外侧，连接管（14）固定在一级固定件（10）和连接套（4）的内孔，将一级固定件（10）和连接套（4）固定在一起；气路控制阀安装在端盖（5）的气路中，一级多孔陶瓷盘（11）、二级多孔陶瓷盘（9）、三级多孔陶瓷盘（7）分别固定在一级固定件（10）、二级固定件（8）、三级固定件（6）所设的内孔中，一级固定件（10）只具有旋转运动，二级固定件（8）和三级固定件（6）具有旋转运动和轴向方向的上下位移。