[发明专利]一种电阻浸入式微推进器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种电阻浸入式微推进器及其制备方法,属于微推进技术领域。该推进器依次包括燃烧室阵列部分、点火器层、以及喷嘴阵列部分；燃烧室阵列部分通过刻蚀SOI硅片形成；喷嘴阵列为硅片表面贯通的空腔阵列组成；点火器层由SOI硅片上表面溅射的点火电阻2阵列，点火导线3和焊盘4组成，各点火电阻2与各燃烧室及喷嘴1位置相对应；火药将各燃烧室单元填满并部分填充所述喷嘴阵列的空腔单元，使得各点火电阻2单元完全浸入在火药中。本发明的有益效果是将点火器层集成在SOI硅片的上表面，利用SOI硅片的器件层浸入在火药中，与火药充分接触，点火电阻通电时将热量传递至燃烧室内的火药，避免了部分热量的无关散失，极大提高了点火的成功率。

主权项

电阻浸入式微推进器，其特征在于，依次包括燃烧室阵列部分、点火器层、以及喷嘴阵列部分；所述燃烧室阵列部分由刻蚀SOI硅片形成的多个贯通燃烧室单元组成；所述点火器层由与各燃烧室单元对应的点火电阻(2)单元组成，所述点火电阻(2)单元置于所述燃烧室单元器件层部分预留的焊盘支架上，各个点火电阻(2)之间通过点火导线(3)联通，并经焊盘(4)引出电信号；喷嘴阵列为硅片表面多个贯通的空腔单元组成，所述各空腔单元与各燃烧室单元、各点火电阻(2)单元对应；火药将各燃烧室单元填满并部分填充所述喷嘴阵列的空腔单元，使得各点火电阻(2)单元完全浸入在火药中。