[发明专利]一种减薄机真空管路的排水装置

摘要

本发明涉及电子行业减薄机真空管路排水设备，具体为一种减薄机真空管路的排水装置。其包括真空储水罐(1)，所述的真空储水罐(1)一侧上端连接有真空泵体(2)、下端连接有排水泵体(3)，且排水泵体(3)为螺杆泵体；另一侧连接有减薄机真空管道(4)，减薄机真空管道(4)自由端设有真空腔体(5)，且真空腔体(5)上方设有吸盘(6)，吸盘(6)上设有磨削片子(7)。其有益效果在于：结构简单、操作方便，其将冷却液和空气分开，防止磨削过程中冷却液进入真空管路，导致真空泵被损坏的问题。

主权项

一种减薄机真空管路的排水装置，其包括真空储水罐(1)，其特征在于：所述的真空储水罐(1)一侧上端连接有真空泵体(2)、下端连接有排水泵体(3)，且排水泵体(3)为螺杆泵体；另一侧连接有减薄机真空管道(4)，减薄机真空管道(4)自由端设有真空腔体(5)，且真空腔体(5)上方设有吸盘(6)，吸盘(6)上设有磨削片子(7)。