[发明专利]基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置有效
| 申请号： | 201610365519.9 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN106091903B | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 林昭珩;杨伟;吴时彬;张海妮;曹学东;艾勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B5/30 | 分类号： | G01B5/30;G01B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测方法及装置，其精密轴系固定在平台上，旋臂依靠法兰盘固定在精密轴系上；第一平面镜与第二平面镜分别安装在两个四维调整架上，再分别安装在旋臂的中心和边缘两个位置；自准直仪安装在二维平移台上，放置在第一平面镜正前方；对准基片套在第一平面镜的圆周处，十字与小孔标识与第一平面镜的镜面平行。精密轴系带动旋臂及两块平面镜一起做匀速圆周运动，自准直仪发出的激光经两块平面镜反射形成自准直光路，实现对旋臂弯沉量的测试。本发明装置搭建简单、检测基准有效并准确传递、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 平面 基准 大型 臂弯 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基于双平面定基准的大型旋臂弯沉量检测装置，其特征在于：包括精密轴系(1)、旋臂(2)、四维调整架(3)、第一平面镜(4)、百分表(5)、对准基片(6)、自准直仪(7)、二维平移台(8)和第二平面镜(9)，其中：精密轴系(1)固定在平台上，旋臂(2)依靠法兰盘(2‑1)固定在精密轴系(1)上，精密轴系(1)带动旋臂(2)一起以角速度为ω做匀速圆周运动，第一平面镜(4)与第二平面镜(9)分别安装在两个四维调整架(3)上，再分别安装在旋臂(2)的旋转中心和边缘两个位置；自准直仪(7)安装在二维平移台(8)上，放置在第一平面镜(4)正前方；对准基片(6)套在第一平面镜(4)的圆周处，对准基片十字与小孔标识与第一平面镜(4)的镜面平行。
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