[发明专利]检测硫酸、磷酸化学抛光液中硫酸、磷酸浓度的方法

摘要

一种检测硫酸、磷酸化学抛光液中硫酸、磷酸浓度的方法，属于溶液检测方法技术领域。包括如下步骤：取a ml化学抛光槽液与纯净水按固定比例进行定容，比例值b为20；取少量定容溶液，分为等体积的两份，通过仪器不断加入1mol/L氢氧化钠溶液进行酸碱中和反应，检测消耗的氢氧化钠体积；其中，对第一份溶液进行检测，得到V₁，V₁是第一个化学计量点：PH＝4.7时消耗的氢氧化钠的体积；同理，得到第二份溶液的V₂，V₂是第二个化学计量点：PH＝9.7时消耗的氢氧化钠的体积；根据公式分别计算化学抛光液中硫酸、磷酸的质量。本发明可精确控制化学抛光液中磷酸和硫酸的浓度，减小槽液更换周期，降低成本。

主权项

一种检测硫酸、磷酸化学抛光液中硫酸、磷酸浓度的方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)、取aml化学抛光槽液与纯净水按固定比例进行定容，比例值b为20；(2)、取少量步骤(1)得到定容溶液，分为等体积的两份，通过仪器不断加入1mol/L氢氧化钠溶液进行酸碱中和反应，检测消耗的氢氧化钠体积；其中，对第一份溶液进行检测，得到V₁，V₁是第一个化学计量点：PH＝4.7时消耗的氢氧化钠的体积；同理，得到第二份溶液的V₂，V₂是第二个化学计量点：PH＝9.7时消耗的氢氧化钠的体积；(3)、根据公式分别计算化学抛光液中硫酸、磷酸的质量：m_H3PO4＝(V₂‑V₁)*C_NaOH*98*b,C_H3PO4＝m_H3PO4/V；C_H2SO4＝(2V₁—V₂)*98*C_NaOH其中，m_H3PO4为磷酸质量，单位为g；V₁和V₂分别为第一和第二化学计量点消耗氢氧化钠的体积，其单位为L；C_NaOH为消耗的氢氧化钠的摩尔浓度，单位为mol/L；b为定容比例；C_H3PO4为检测的磷酸浓度，单位为g/L；V为定容后等体积溶液的体积；C_H2SO4为检测的硫酸的浓度，单位g/L。