[发明专利]一种靶材边缘之铝熔射层的检测方法

摘要

一种靶材边缘之铝熔射层的检测方法，包括：步骤S1：将待溅射之靶材设置在真空腔室内，并在靶材的横向端面与真空腔室内的隔离套件之间设置预设间距；步骤S2：在真空腔室内通入氩气和氮气，并通过泵抽单元将真空腔室之压力控制在预设压力；步骤S3：通过外部电源对靶材施加电压，其输出功率为P1，并监控直流功率输出值Pd；步骤S4：经过预设稳定时间后，直流功率输出值Pd满足a≤Pd≤b；步骤S5：对直流输出功率值Pd进行持续预设时间观察，当Pd＝c，且c＞b≥a时，则判定靶材边缘之铝熔射层品质异常。通过本发明进行铝熔射层品质检测，不仅操作简单、使用方便，而且检测结构更为直观，检测方法客观、准确，值得推广应用。

主权项

1.一种靶材边缘之铝熔射层的检测方法，其特征在于，所述靶材边缘之铝熔射层的检测方法，包括：执行步骤S1：将待溅射之靶材设置在真空腔室内，并在所述靶材的横向端面与所述真空腔室内的隔离套件之间设置预设间距；执行步骤S2：在所述真空腔室内通入氩气和氮气，并通过泵抽单元将真空腔室之压力控制在预设压力；执行步骤S3：通过外部电源对靶材施加电压，其输出功率为P1，并监控直流功率输出值Pd；执行步骤S4：经过预设稳定时间后，所述直流功率输出值Pd满足a≤Pd≤b；执行步骤S5：对所述直流输出功率值Pd进行持续预设时间观察，当Pd＝c，且c＞b≥a时，则判定所述靶材边缘之铝熔射层品质异常。