[发明专利]一种长寿命高分辨电学原子力显微镜探针在审
| 申请号： | 201610353169.4 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN107436366A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京五泽坤科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/40 | 分类号： | G01Q60/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用碳纳米管探针镀导电层的新型结构探针及其制备方法，解决了目前电学原子力显微镜探针的瓶颈问题，大大提高了电学原子力显微镜探针的寿命和分辨率。在目前市场上已有的碳纳米管探针的基础上，对探针侧面镀导电层，充分利用碳纳米管探针的超高分辨率和超长使用寿命。解决了电学原子力显微镜探针测试长期以来的瓶颈问题，提高了测试的一致性，满足了科研、工业和教学等不同应用领域的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 寿命 分辨 电学 原子 显微镜 探针 | ||
【主权项】：
一种纳米结构的原子力显微镜探针，特别涉及一种碳纳米管电学原子力显微镜探针，其特征在于所述针尖上（2）有碳纳米管（1），所述碳纳米管上还有导电镀层（3）。
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