[发明专利]多晶硅生产中尾气和/或残液处理工艺及装置在审

专利信息
申请号: 201610341094.8 申请日: 2016-05-20
公开(公告)号: CN105920986A 公开(公告)日: 2016-09-07
发明(设计)人: 姚爱兵;陈亮 申请(专利权)人: 宜昌南玻硅材料有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/68;C02F9/04
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 彭永念
地址: 443007 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种多晶硅生产中尾气和/或残液处理工艺及装置,该工艺是将尾气和/或残液送入淋洗塔中,采用质量浓度2‑5%弱酸水在逆流状态进行喷淋清洗,清洗后的气体进入液封罐内采用清水进行净化,最后出来的气体放空;清洗后的液体作为弱酸水循环喷淋;步骤1)中循环喷淋的弱酸水超过限定浓度后,排出部分废酸水后加水稀释至所需浓度继续使用,排出的废酸水加入石灰乳液进行中和,然后采用压滤机进行过滤,回用部分滤液,其余滤液和滤渣进行外排。该工艺及装置确保了处理的尾气达标排放;避免了喷头、管道、设备的堵塞,操作安全、简单;部分滤液回用和化工废电石渣乳液回收利用,降低了用水消耗,节约了尾气和/或残液处理成本。
搜索关键词: 多晶 生产 尾气 处理 工艺 装置
【主权项】:
多晶硅生产中尾气和/或残液处理工艺,其特征在于,具体包括以下步骤:1)将尾气和/或残液送入淋洗塔中,采用质量浓度2‑5%弱酸水在逆流状态进行喷淋清洗,清洗后的气体进入液封罐内采用清水进行净化,最后出来的气体放空;清洗后的液体作为弱酸水循环喷淋;2)步骤1)中循环喷淋的弱酸水超过限定浓度后,排出部分废酸水后加水稀释至所需浓度继续使用,排出的废酸水加入石灰乳液进行中和至pH为7‑8,然后采用压滤机进行过滤,回用部分滤液,其余滤液和滤渣进行外排。
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