[发明专利]一种轴承的复合层制备方法及其轴承有效
| 申请号： | 201610339587.8 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN105970215B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陆利民;陆丹寅 | 申请（专利权）人： | 无锡铠骏机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/27 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 高之波;储振 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种轴承的复合层制备方法及其一种轴承，该轴承的复合层制备方法包括以下步骤：轴承经清洗、烘干后放入磁控溅射镀膜室；在磁控溅射镀膜室内通入氩气等离子气体轰击轴承表面；在氩气气氛中，以铬为靶材，在轴承表面利用磁控溅射沉积铬膜层；在氩气气氛中，以碳化钨为靶材，在铬膜层上利用磁控溅射沉积碳化钨膜层；以石墨和金刚石共同为阴电极，通入乙炔气体，以在碳化钨膜层上利用等离子体化学气相沉积法沉积类金刚石膜层。在基材表面依次沉积铬膜层、碳化钨膜层及类金刚石膜层，在确保轴承的基材表面所沉积的复合层具有较高强度的同时，又使得复合层具有较低的摩擦系数，从而显著的提高了轴承的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承 复合层 碳化钨 铬膜层 膜层 沉积 制备 磁控溅射沉积 磁控溅射镀膜 类金刚石膜层 基材表面 轴承表面 氩气气氛 靶材 等离子体化学气相沉积法 氩气等离子 摩擦系数 使用寿命 乙炔气体 金刚石 阴电极 石墨 烘干 放入 轰击 清洗 室内 | ||
【主权项】：
1.一种轴承的复合层制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)轴承经清洗、烘干后放入磁控溅射镀膜室；(2)在磁控溅射镀膜室内通入氩气等离子气体轰击轴承表面；(3)在氩气气氛中，以铬为靶材，在轴承表面利用磁控溅射沉积铬膜层，操作参数设置如下：真空度：6×10‑3Pa～8×10‑1Pa、氩气流量：8～70sccm、溅射时间：800～3000min、沉积温度：300～700℃；(4)在氩气气氛中，以碳化钨为靶材，在铬膜层上利用磁控溅射沉积碳化钨膜层，操作参数设置如下：真空度：5×10‑3Pa～5×10‑1Pa、氩气流量：20～80sccm、溅射时间：1000～5000min、沉积温度：300～700℃；(5)以石墨和金刚石共同为阴电极，通入乙炔气体，以在碳化钨膜层上利用等离子体化学气相沉积法沉积类金刚石膜层；操作参数设置如下：真空度：在3～4小时内降低至0.1×10‑4Pa～1×10‑4Pa，温度：在1～2小时内由室温升至230℃；乙炔气体流量：6～8sccm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡铠骏机械制造有限公司，未经无锡铠骏机械制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610339587.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：PCB收料装置
- 下一篇：一种方便实用的电动车配件加工操作台
- 同类专利
- 专利分类
