[发明专利]一种电涡流位移传感器及实现方法

摘要

本发明公开了一种大量程高精度高动态响应电涡流位移传感器及实现方法。该传感器包括交流谐振升压电桥、稳幅电路、幅度补偿与加法电路、正交采样触发信号生成电路和高速采样处理器；所述方法包括：通过双路采样方法进行双路采样数据，根据双路采样数据(S1、S2)计算谐振电路损耗电阻；根据电路损耗电阻计算线圈位移；根据温度S3，计算温度补偿后的位移温飘。本发明通过线圈升压，稳幅激励，幅度补偿的方法提高了传感器的灵敏度和测量范围；通过正交采样，数字处理的方法减小了外界干扰，提高了动态响应与稳定性。

主权项

1.一种大量程高精度高动态响应电涡流位移传感器，其特征在于，所述传感器包括交流谐振升压电桥、稳幅电路、幅度补偿与加法电路、正交采样触发信号生成电路和高速采样处理器；所述交流谐振升压电桥，由谐振器、与谐振器并联的电阻(R2)及与谐振器串联的电容(C1)和电阻(R1)组成；所述谐振器由电感探头(Lx)、两个串联电容(C2、C3)组成；稳幅电路，由可变增益放大器(4)、同步检波电路(3)、幅度平均电路(6)和比较调节器(7)组成，所述比较调节器的输入端分别是幅度平均电路的输出信号(C)与基准电压S_ua；幅度补偿与加法电路，由运放与电阻组成，用于调节幅度补偿的大小，并将补偿信号和稳幅电路输出信号相加，相加后得到的信号作为交流谐振升压电桥的激励信号S1；正交采样触发信号生成电路，由高速比较器组成，该比较器设置有两个输入端，其中一端连接在同步检波电路(3)的输出端上，另一端输入直流电压S_ut。