[发明专利]一种混合多芯平面光波导的结构及其耦合结构和耦合方法有效
| 申请号： | 201610327114.6 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN105759343B | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 陈奔;梁雪瑞;朱虎;胡百泉;张玓;刘成刚;周日凯;付永安;孙莉萍;马卫东;余向红 | 申请（专利权）人： | 武汉电信器件有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00;G02B6/26 |
| 代理公司： | 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙)44341 | 代理人： | 何婷 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及光波导耦合技术领域，提供了一种混合多芯平面光波导的结构及其耦合结构和耦合方法。其中，平面光波导内包括用于传递光信号的二氧化硅主波导，以及辅助进光的副波导；副波导包括氮化硅副波导，氮化硅副波导紧贴着二氧化硅主波导。本发明实施例提出的混合多芯波导是指在PLC的激光器接口端加上二氧化硅主波导以外的氮化硅/二氧化硅副波导，形成混合多芯波导，改善耦合效率和对位容差。由于氮化硅波导的数值孔径NA较高，收光能力比二氧化硅波导强。混合多芯波导的作用相当于附加了收光更强的进光口，在经过一段过渡后所有的副波导消失，从而使得从附加进光口进入的光，通过波导平行耦合的方式汇入主波导，达到改善耦合效率和对位容差的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 平面 波导 结构 及其 耦合 方法 | ||
【主权项】：
一种混合多芯平面光波导的结构，其特征在于，所述结构包括，具体的：所述平面光波导内包括用于传递光信号的二氧化硅主波导，以及辅助进光的副波导；所述副波导包括氮化硅副波导，所述氮化硅副波导紧贴着二氧化硅主波导；所述副波导还包括二氧化硅副波导，氮化硅副波导和二氧化硅副波导均由过渡部分和锥体部分构成，过渡部分是一向光传输方向延伸的矩形立方体；锥体部分为底面与所述过渡部分衔接，锥顶向光传输方向延伸的结构；其中，氮化硅副波导位于二氧化硅主波导的上表面，所述二氧化硅副波导位于二氧化硅主波导的上表面，并且覆盖于所述氮化硅副波导之上。
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