[发明专利]蒸镀装置在审
| 申请号： | 201610323551.0 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN106148906A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 黃秉檍;吴芝瑛;朴完雨;金钟学 | 申请（专利权）人： | 亚威科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及利用微波的蒸镀装置。根据本发明的利用微波的蒸镀装置，向照射微波的导波模块与靶材之间供应气体，来分隔设置有导波模块的腔室的区域与设置有靶材的腔室的区域。如此，抑制靶材物质向导波模块侧移动，因此抑制靶材物质蒸镀于导波模块侧。从而，防止因为靶材物质蒸镀于导波模块侧而产生的颗粒Particle)与电弧(Arcing)现象使待蒸镀于基板的膜受损，因此具有能够提高膜质量的效果。另外，由于用于去除蒸镀于导波模块的靶材物质的维护作业周期变长，因此可具有节省成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包括：腔室，腔室内部形成投入基板并进行处理的空间，并且在腔室外板形成用于向所述空间喷射气体的喷射部；靶材模块，设置在与所述基板面对面的所述腔室内部，并且具有由用于在所述基板形成膜的物质构成的靶材；导波模块，设置在所述腔室的所述外板，并且引导微波向所述靶材侧照射，其中，通过所述喷射部，向所述靶材模块与所述导波模块之间喷射向所述腔室内部喷射的气体。
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