[发明专利]用于为臭氧生产单元提供能量的紧凑的、可配置电源有效
申请号: | 201610320044.1 | 申请日: | 2013-03-19 |
公开(公告)号: | CN105978358B | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 肯·特兰;田丰;陈星;李国华 | 申请(专利权)人: | MKS仪器股份有限公司 |
主分类号: | H02M5/458 | 分类号: | H02M5/458;H02H9/02;C01B13/11 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 高频电功率向臭氧生产单元的供给的改进能够使用文中所述的系统和技术来实现。操作在远大于负载频率的切换频率下的DC到DC转换器的应用支持了用于为此种单元供电的高压AC的生成,同时允许了元件尺寸的减小以及负载调谐电路中质量因子的减小。用于获得一个或多个切换及负载频率的可控功率逆变器可利用反馈技术来控制,以在外部提供的功率及负载条件中的一个或多个发生变化时向臭氧生产单元提供稳定的、高质量功率。浪涌保护电路也可提供以选择性地引入电流限制电阻,直至输入DC总线已被有效初始化,该有效初始化由从DC总线获得的测量值来确定。电流限制电阻可以是正温度系数热敏电阻。 | ||
搜索关键词: | 用于 臭氧 生产 单元 提供 能量 紧凑 配置 电源 | ||
【主权项】:
1.用于向至少一个臭氧生产单元供电的功率系统,包括:整流器,被配置为对AC输入电压进行整流;总线电容器,并联耦合至所述整流器,所述总线电容器被配置为响应于被整流的AC输入电压产生低压的、未调节的DC电压;功率转换器,耦合至所述总线电容器,并且被配置为响应于所述低压的、未调节的DC电压生成高压的、经调节的DC电压;功率逆变器,配置为接收所述高压的、经调节的DC电压,并在耦合至所述至少一个臭氧生产单元时生成高频AC输出电压;第一传感器,被配置为测量所述总线电容器两端的电压以确定测量到的电压;第二传感器,被配置为测量流入所述总线电容器的电流以确定测量到的电流;以及可控电流限制电阻,耦合在所述整流器与所述总线电容器之间,所述可控电流限制电阻还与所述第一传感器和所述第二传感器中的每一个通信并且对所述测量到的电压和测量到的电流进行响应,所述可控电流限制电阻被配置为响应于所述测量到的电压和所述测量到的电流,在所述总线电容器处于初始化状态时提供电流限制电阻并且在所述总线电容器处于初始化完成状态时提供充分短路。
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