[发明专利]基于有限元模拟的大口径光学镀膜元件低频面形参数预测方法在审

专利信息
申请号: 201610318489.6 申请日: 2016-05-13
公开(公告)号: CN105808895A 公开(公告)日: 2016-07-27
发明(设计)人: 邵淑英;王虎;郭猛;柴英杰 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯;张宁展
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种基于有限元模拟的大口径光学镀膜元件低频面形参数预测方法,根据弹性力学基本方程,结合相同镀膜条件下小口径元件的受力情况,对镀膜后大口径镀膜元件的变形情况进行了预测。基于商用软件COMSOL对变形情况的模拟,将变形数据导出之后通过Matlab软件对数据进行二维到三维的格式转换,转换成Metro软件可以识别的格式,通过Metro软件读取的数据,得出大口径镀膜元件的低频面形参数变化情况。采用本发明方法得到的预测结果因为对应的是镀膜前后低频面形参数的变化量,去除了基底初始面形的影响,与实际变形结果更加符合。
搜索关键词: 基于 有限元 模拟 口径 光学 镀膜 元件 低频 参数 预测 方法
【主权项】:
一种基于有限元模拟的大口径光学镀膜元件低频面形参数预测方法,其特征在于:采用COMSOL商业有限元软件作为计算平台,利用Matlab软件作为数据转换工具,通过Metro软件得到低频面形参数,具体步骤如下:步骤1:在COMSOL商用软件计算平台中,利用弹性力学理论,对大口径光学镀膜元件的三维几何模型进行COMSOL形变模拟;步骤2:导出COMSOL形变模拟结果;步骤3:利用Matlab将COMSOL形变模拟结果的二维数据转换为Metro软件可读的三维数据;步骤4:利用Metro软件读取三维数据得到低频面形参数。
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