[发明专利]一种基于多通道声表面波的多物理量传感器在审
| 申请号： | 201610305934.5 | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN105890661A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 郑天祥;李璐;陈硕;刘占元;侯继彪;牛晓晨;孙海江;叶志齐;李春城;尉志勇 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院;国网江苏省电力公司;国家电网公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于多通道声表面波的多物理量传感器，其包括：天线、信号端、接地端和传感器芯片，天线分别与设于传感器芯片上的所述信号端和接地端相连，传感器芯片包括:压电基底、信号传输通道、声表面波温度传感单元、声表面波气体传感单元和声表面波水汽传感单元；信号传输通道将并行设于压电基底上的所述声表面波温度传感单元、声表面波气体传感单元和声表面波水汽传感单元彼此相互连接。本发明采用无线方式传输多种传感物理量，有利于实现传感器组网，进一步推动电力设备监测的网络化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 通道 表面波 物理量 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于多通道声表面波的多物理量传感器，所述多物理量传感器包括：天线、信号端、接地端和传感器芯片，所述天线分别与设于所述传感器芯片上的所述信号端和所述接地端相连，其特征在于，所述传感器芯片包括:压电基底、信号传输通道、声表面波温度传感单元、声表面波气体传感单元和声表面波水汽传感单元；所述信号传输通道将并行设于所述压电基底上的所述声表面波温度传感单元、所述声表面波气体传感单元和所述声表面波水汽传感单元彼此相互连接。
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