[发明专利]一种基板清理装置在审
| 申请号： | 201610302641.1 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN105964626A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 贾文斌;彭锐;王欣欣;叶志杰;黄磊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板清理装置，用以使得基板的清理过程更加简化，清理效果更佳，并且可以实现对基板的不同面进行选择性清理，进而可以对制作了有机膜层和金属膜层后的显示面板上的颗粒物进行清理。一种基板清理装置，用于清理所述基板上的颗粒物，所述装置包括：真空腔室，设置于所述真空腔室内的至少一个导电板、支撑部件、第一电荷产生器以及第二电荷产生器；其中，所述支撑部件用于支撑基板；所述第一电荷产生器与所述导电板电连接，用于使所述导电板产生第一极性电荷；所述第二电荷产生器用于在所述支撑部件放置所述基板后，使所述基板表面的颗粒物产生与所述第一极性电荷的电极性相反的第二极性电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清理 装置 | ||
【主权项】：
一种基板清理装置，用于清理所述基板上的颗粒物，其特征在于，所述装置包括：真空腔室，设置于所述真空腔室内的至少一个导电板、支撑部件、第一电荷产生器以及第二电荷产生器；其中，所述支撑部件用于支撑基板；所述第一电荷产生器与所述导电板电连接，用于使所述导电板产生第一极性电荷；所述第二电荷产生器用于在所述支撑部件放置所述基板后，使所述基板表面的颗粒物产生与所述第一极性电荷的电极性相反的第二极性电荷。
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