[发明专利]一种复合吸收层热释电红外探测器有效
| 申请号： | 201610290099.2 | 申请日： | 2016-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN105789428B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 梁志清;刘子骥;伍浏权;马振东;王涛 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;G01J5/34 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合吸收层热释电红外探测器，属于热释电探测器技术领域。本发明热释电红外探测器中吸收层由顶层至底层依次包括：钛金属层(1)、介质层(2)、镍铬合金层(3)、钽酸锂晶体层(4)和反射层(5)；所述镍铬合金层(3)沉积在钽酸锂晶体层(4)的顶面，所述反射层(5)沉积在钽酸锂晶体层(4)的底面，所述钛金属层(1)沉积在介质层(2)的顶面。本发明制备出的热释电红外探测器的复合吸收层与单一金属吸收层薄膜作热敏感层相比，本发明具有更好的表面致密性、高的吸收系数和较小的热损失，能够获取高性能热响应，利于制备出高精度热释电红外探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 吸收 层热释电 红外探测器 | ||
【主权项】：
1.一种复合吸收层热释电红外探测器，其特征在于，其红外传感器单元中吸收层为复合层结构，由顶层至底层依次包括：钛金属层(1)、介质层(2)、镍铬合金层(3)、钽酸锂晶体层(4)和反射层(5)；所述镍铬合金层(3)沉积在钽酸锂晶体层(4)的顶面，所述反射层(5)沉积在钽酸锂晶体层(4)的底面，所述钛金属层(1)沉积在介质层(2)的顶面。
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