[发明专利]显示基板曝光方法有效
| 申请号： | 201610289214.4 | 申请日： | 2016-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN106125517B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 孙柱镐 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22;G03F1/42 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 刘钊;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种显示基板曝光方法，通过图案掩模将具有多个区域的显示基板顺序曝光，该方法包括：第一曝光步骤，通过基于设置在显示基板的第一区域的非显示区中的第一基板对准标记对准形成在图案掩模中的掩模对准标记来曝光显示基板的第一区域；第一对准结果计算步骤，计算第一基板对准标记和掩模对准标记的第一对准结果；第二基板对准标记设置步骤，通过反映第一对准结果在显示基板的第二区域的非显示区中设置第二基板对准标记；以及第二曝光步骤，通过基于第二基板对准标记对准掩模对准标记来曝光显示基板的第二区域。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 曝光 方法 | ||
【主权项】：
一种显示基板曝光方法，通过图案掩模将具有多个区域的显示基板顺序曝光，该方法包括：第一曝光步骤，通过基于设置在所述显示基板的第一区域的非显示区中的第一基板对准标记对准形成在所述图案掩模中的掩模对准标记来曝光所述显示基板的所述第一区域；第一对准结果计算步骤，计算所述第一基板对准标记和所述掩模对准标记的第一对准结果；第二基板对准标记设置步骤，通过反映所述第一对准结果在所述显示基板的第二区域的非显示区中设置第二基板对准标记；和第二曝光步骤，通过基于所述第二基板对准标记对准所述掩模对准标记来曝光所述显示基板的所述第二区域。
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