[发明专利]一种产生大气压均匀等离子体刷的装置和方法

摘要

本发明公开了一种产生大气压均匀等离子体刷的装置，包括有放电部分和供气部分：放电部分由介质板构件、放电电极对、增强电极对和交流电源构成；供气部分连接于介质板构件后端端口处。另外，本发明还公开了产生大气压均匀等离子体刷的方法，包括步骤：（1）启动供气部分，为介质板构件提供工作气体；（2）启动交流电源，使增强电极对之间产生介质阻挡放电，然后使放电电极对之间产生介质阻挡放电，然后微调交流电源的电压和输出频率，产生稳定的大气压均匀等离子体刷。本发明提供的装置结构简单、成本低廉，使用该装置产生单位体积等离子体刷尺寸大，空间分布均匀，温度低，无需水冷，且产生单位体积等离子体羽功耗小，在工业应用上更有优势。

主权项

1.一种产生大气压均匀等离子体刷的装置，其特征是，包括有放电部分和供气部分：所述放电部分由介质板构件、放电电极对、增强电极对和交流电源构成；所述介质板构件由两块平行设置的介质板构成，且两块所述介质板的左右边缘之间密封；所述放电电极对由相对设置于两块介质板之间且靠近介质板前端左右两侧的第一针电极和第二针电极构成，所述第一针电极由放电针芯及包裹于放电针芯外部的介质管构成，所述第二针电极与所述第一针电极结构相同；所述增强电极对由左右横向设置于所述介质板构件中部上下表面的第一裸露电极和第二裸露电极构成，且第一裸露电极和第二裸露电极的长度不小于介质板构件的宽度；其中，所述第一针电极和所述第一裸露电极均与所述交流电源的高压输出端连接，所述第二针电极和所述第二裸露电极均与所述交流电源的接地端连接；所述介质板与所述介质管均采用绝缘材料，所述绝缘材料为玻璃、石英或聚四氟乙烯；所述放电针芯为导电液或金属材料，所述第一裸露电极和第二裸露电极为金属材料；所述供气部分连接于所述介质板构件后端端口处；所述介质板所形成的腔体的厚度为100μm～8mm，宽度为20mm～65mm；所述第一裸露电极与所述第二裸露电极间的距离为0.3mm～20mm；所述放电电极对与所述增强电极对间的距离为20mm～150mm。