[发明专利]一种臭氧氧化循环回用PCB酸性蚀刻液的方法在审

专利信息
申请号: 201610282050.2 申请日: 2016-04-28
公开(公告)号: CN105908189A 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 黄洪;邢征;司徒粤 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C22B7/00;C22B15/00
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 何淑珍
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种臭氧氧化循环回用PCB酸性蚀刻液的方法。该方法步骤为:首先,蚀刻液蚀刻铜之后由蚀刻槽中流出;随后,待氧化的蚀刻液进入到氧化装置中,在此装置中鼓入臭氧;然后,经过氧化后的蚀刻液进入到参数调节中控区,补充盐酸和水,保持恒定的蚀刻组分;接着,分出一部分蚀刻液进入结晶罐中进行结晶,取出氯化铜。最后,另一部分蚀刻液流入到储存罐中,成为供蚀刻的回用液。本流程相比于原工艺所添加的设备简单、控制方便,推广前景广阔,具有显著的经济价值和社会环境效益。
搜索关键词: 一种 臭氧 氧化 循环 pcb 酸性 蚀刻 方法
【主权项】:
一种臭氧氧化循环回用PCB酸性蚀刻液的方法,其特征在于,具体步骤如下:1)蚀刻液从蚀刻生产线上流出,由于在蚀刻过程中发生了反应,使得此时蚀刻液中的一价铜离子急剧上升,ORP迅速下降;2)待氧化的蚀刻液流入氧化反应体系中,在鼓入臭氧的条件下氧化,使得一价铜离子浓度降至合理范围区,ORP升至与原蚀刻液相似;3)被氧化的蚀刻液流入参数中控调节区,采用自动控制的方法,保持酸度值,铜离子浓度恒定;4)将一部分被还原的酸性蚀刻液流入结晶罐中,结晶出氯化铜出售;5)将另一部分被还原的酸性蚀刻液回流至喷淋蚀刻区,进行下一步的蚀刻。
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