[发明专利]基于激光扫描法的非接触光学镜面检测系统及其检测方法

摘要

基于激光扫描法的非接触光学镜面检测系统及其检测方法，属于光学测量技术领域，解决了现有检测装置结构复杂的问题，包括激光测距仪、二维平移台和垂直升降台；所述二维平移台包括X轴移动装置和Y轴移动装置，所述垂直升降台安装在Y轴移动装置上，所述二维平移台与平移台控制器电连接，垂直升降台与升降台控制器电连接；所述平移台控制器、升降台控制器经调度控制器，与上位机电连接。检测光学镜面的方法是将被测镜面固定安装上述装置上，经网格扫描后得到三维坐标值，代入曲面方程中拟合得到被测镜面的三维坐标方程。本发明结构简单、制造成本低。

主权项

基于激光扫描法的非接触光学镜面检测系统，其特征在于：包括激光测距仪、二维平移台和垂直升降台；所述激光测距仪包括激光扫描控制器，激光扫描控制器与激光感测头（10）电连接，激光扫描控制器与监视器电连接；所述二维平移台包括X轴移动装置和Y轴移动装置， Y轴移动装置安装在X轴移动装置上；X轴移动装置包括X轴导轨（1），X轴导轨（1）顶部滑动安装有X轴滑块（3），X轴滑块（3）中部的内螺纹中安装有X轴滚珠丝杠，X轴滚珠丝杠与X轴步进电机（2）联接，X轴步进电机（2）固定安装在X轴导轨（1）上；Y轴移动装置包括安装在X轴滑块（3）顶部的Y轴导轨（5），Y轴导轨（5）顶部滑动安装有Y轴滑块（6），Y轴滑块（6）中部的内螺纹中安装有Y轴滚珠丝杠，Y轴滚珠丝杠与Y轴步进电机（4）联接，Y轴步进电机（4）固定安装在Y轴导轨（5）上；所述垂直升降台安装在Y轴滑块（6）上，垂直升降台包括台面（12）和Z轴导轨（8），Z轴导轨（8）固定安装在Y轴滑块（6）上，Z轴导轨（8）上滑动安装有Z轴滑块（9），台面（12）安装在Z轴滑块（9）上，Z轴滑块（9）中部的内螺纹中安装有Z轴滚珠丝杠，Z轴滚珠丝杠与Z轴步进电机（7）联接，Z轴步进电机（7）固定安装在Z轴导轨（8）上，激光感测头（10）位于台面（12）上方；所述X轴步进电机（2）与平移台控制器电连接，Y轴步进电机（4）与平移台控制器电连接，Z轴步进电机（7）与升降台控制器电连接；所述平移台控制器与调度控制器电连接，升降台控制器与调度控制器电连接，激光扫描控制器与调度控制器电连接，调度控制器与上位机电连接。