[发明专利]一种ALD用结构化喷嘴有效
| 申请号： | 201610259120.2 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN105817352B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 何丹农;尹桂林;金彩虹 | 申请（专利权）人： | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | B05B1/06 | 分类号： | B05B1/06;B05B1/30 |
| 代理公司： | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ALD用结构化喷嘴，其包括圆弧形中空喷嘴主体（1）、与主体外侧壁中部连接的管路（2），所述喷嘴主体内侧壁体上沿着、其轴线方向均匀设有两种不同尺寸的微孔（3）和微孔（4）。本发明使得喷嘴与反应腔体结构高度融合，有效提升腔体内部气流均匀性，同时也节省腔体空间，方便拆装，便于清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ald 结构 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种ALD用结构化喷嘴，其特征在于，包括圆弧形中空喷嘴主体（1）、与主体外侧壁中部连接的管路（2），所述喷嘴主体内侧壁体上沿着其轴线方向均匀设有两种不同尺寸的第一微孔（3）和第二微孔（4）；其喷嘴主体（1）弧度与反应腔体弧度相同；所述管路（2）与喷嘴内部连通，用于气体的输入；管路（2）中部带有外螺纹（5），用于与腔体的固定；管路（2）端部带有外螺纹（6）用于与外部管路的连接；管路（2）直径为1/4英寸；所述的第一微孔（3）位于喷嘴主体（1）内侧壁体中部，孔径为1‑2mm，第一微孔（3）间距为10mm‑50mm，分布数量为4行×14列，且呈矩形分布；所述的第二微孔（4）位于喷嘴主体（1）内侧壁体第一微孔（3）两侧的区域，孔径为2.5‑4mm，第二微孔（4）间距为10mm‑50mm，分布分别为4行×14列，且呈矩形分布；所述的第一微孔（3）和第二微孔（4）在喷嘴主体（1）内侧壁贯通与喷嘴中空结构连通。
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