[发明专利]一种无接触输运与定位平台装置及控制方法在审
| 申请号： | 201610251430.X | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN105712089A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 钟伟;徐柯;顾小玉 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00;B65G49/06;B65G43/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李晓静 |
| 地址： | 212003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种无接触输运与定位平台装置及控制方法，该装置包括运输平台、位于运输平台下方的固定平台和位于固定平台下方的基座，所述固定平台通过固定平台支撑与基座连接，所述运输平台上设有若干个凹槽，每个凹槽设有进气孔和出气孔，所述进气孔与进气软管连接，进气软管与正压气源连接，所述出气孔与出气软管连接，出气软管与负压气源连接。本发明的一种无接触输运与定位平台装置，由于空气在凹槽内呈水平流动状态，因此，可以最大程度地利用气流粘性力驱动工件运动，获得较大的运动加速度，这可以实现真正意义上的完全无接触，气流与半导体工件接触时不易产生静电污染，接触点附近不易导致应力集中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 输运 定位 平台 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种无接触输运与定位平台装置，其特征在于：包括运输平台、位于运输平台下方的固定平台和位于固定平台下方的基座，所述固定平台通过固定平台支撑与基座连接，所述运输平台上设有若干个凹槽，每个凹槽设有若干组成对的进气孔和出气孔，所述进气孔与进气软管连接，进气软管与正压气源连接，所述出气孔与出气软管连接，出气软管与负压气源连接。
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