[发明专利]一种用于共焦显微系统的α-β扫描方法在审
| 申请号： | 201610243141.5 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN105806255A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;由小玉;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于共焦显微系统的α‑β扫描方法，它涉及共焦显微扫描方法。本发明为了解决现有技术的共焦扫描方法存在不能充分利用光学系统的有效视场，测量效率低以及可靠性提高困难的问题。本发明使用上位机软件构造α信号和β信号，分别通过数据采集卡的两个通道送入检流式振镜系统，将其作为检流式振镜系统的控制信号；检流式振镜系统按α信号和β信号进行扫描运动，扫描光斑以同心圆轨迹完成二维扫描；通过计算获得扫描光斑轨迹信息；控制检流式振镜系统和轴向微动台，实现对被测样品的三维扫描测量；对采集的数据进行处理，结合扫描光斑轨迹重构被测样品三维形貌。本发明可以充分利用光学系统的有效视场，最大限度扩大共焦显微系统的扫描视场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显微 系统 扫描 方法 | ||
【主权项】：
一种用于共焦显微系统的α‑β扫描方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、使用上位机软件构造两个正弦信号：α信号和β信号，分别通过数据采集卡的两个通道送入检流式振镜系统，将其作为检流式振镜系统的控制信号；步骤二、所述检流式振镜系统按α信号和β信号进行扫描运动，扫描光斑以同心圆轨迹完成二维扫描，同时数据采集卡采集探测端信息；步骤三、控制检流式振镜系统和轴向微动台，实现对被测样品的三维扫描测量；步骤四、对采集的数据进行处理，重构被测样品三维形貌。
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