[发明专利]研抛一体化冰粒型固结磨料抛光垫及其制备方法

摘要

本发明针对传统抛光垫在抛光过程中效率低、成本高、均匀性和可靠性差以及多次装夹工件致使工件的加工定位基准发生改变，从而影响加工精度和效率等缺点，提出一种研抛一体化冰粒型固结磨料抛光垫及其制备方法，以适应目前抛光精度和效率的需求。本发明以液体作为粘结剂，通过液氮快速冷凝与压力机压实分层将含不同粒度磨料的冰粒粘结成抛光垫，可用于抛光加工各种薄型工件，尤其适用于加工热敏材料、软材料、晶体材料等。具有制造简单、加工成本低、加工效率高、工艺控制能力强、绿色环保等优点。

主权项

一种研抛一体化冰粒型固结磨料抛光垫，其特征是它由占抛光垫总重量的4%～20%的微米级冰冻磨料层、占总重量的2%～12%的亚微米级冰冻磨料层、占抛光垫总重量1%～5%的纳米级冰冻磨料层和余量的去离子水冰冻层组成；抛光垫自底层往上所含磨料粒径逐渐变大，去离子水冰冻层紧邻抛光垫夹持头；在微米级冰冻磨料层与亚微米级冰冻磨料层之间、亚微米级冰冻磨料层与纳米级冰冻磨料层之间以及纳米级冰冻磨料层与抛光垫夹持层之间均设有去离子水冰冻层；所述的抛光垫中心设有一通孔，通孔直径为，式中e为抛光垫偏心距，r为抛光工件半径，偏心距e取值为20～100mm。