[发明专利]一对多光阻回收系统及其控制方法

摘要

本发明提供一种一对多光阻回收系统及其控制方法，其主要是通过多向连通控制器各自连通复数回收贮存装置，使业者在利用不同种类光阻液生产面板时，能够让单一种类的光阻液在一套回收贮存装置内完成回收的作业，使各回收贮存装置相互区隔、各自独立，以因应一对多光阻回收系统在生产不同面板前能够免于清洗整个系统，仅需要针对要清洗的回收贮存装置进行清洗，由此达到一种能够提升光阻回收系统的使用效率、整体系统的稼动率及降低制造成本的光阻回收系统的目的。

主权项

一种一对多光阻回收系统，供以与一机台连通，其特征在于，包括：一多向连通控制器，与该机台连通，该多向连通控制器用以控制光阻液的流向；复数回收桶，与该多向连通控制器连通，各该回收桶与该多向连通控制器之间具分别有一回收管路，该回收桶用以置放回收的光阻液；一再生桶，与该些回收桶连通，该再生桶与各该回收桶之间分别具有一再生管路，该再生桶供用以接收回收的光阻液，并将其调整至理想黏度；一稀释桶，与该多向连通控制器、该些回收桶及该再生桶连通，该稀释桶与该回收桶之间具有一稀释管路，该稀释桶与该多向连通控制器之间具有一回收贮存清洗管路，该稀释桶与该再生桶之间具有一调节清洗管路，该稀释桶用以根据不同光阻需求提供不同稀释液；一新液桶，与该再生桶连通，该新液桶与该再生桶之间具有一第一新液管路，该新液桶用以根据不同光阻需求提供不同的新光阻液：一供应桶，与该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该机台连通，该供应桶与该稀释桶之间具有一清洗管路、该供应桶与该再生桶之间具有一第一输送管路，该供应桶与该机台间具有一第二输送管路，该供应桶与该新液桶之间具有一第二新液管路，该供应桶主要用以供应回收光阻至该机台；以及一废液桶，与该多向连通控制器、该些回收桶、该再生桶及该供应桶连通，该废液桶与各该回收桶之间分别具有一排放管路，该废液桶与该多向连通控制器之间具有一第一废液管路，该废液桶与该再生桶之间具有一第二废液管路，该废液桶与该供应桶之间具有一第三废液管路，该废液桶供以接收排放的废光阻液。