[发明专利]一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器在审

专利信息
申请号: 201610220154.0 申请日: 2016-04-11
公开(公告)号: CN105842603A 公开(公告)日: 2016-08-10
发明(设计)人: 肖和平;陈亮;马祥柱;陈宝;杨凯 申请(专利权)人: 扬州乾照光电有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人: 江平
地址: 225009 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器,属于LED芯片点测设备技术领域,在机架上设置上固定支架和下固定支架,在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针,在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台,承片台的下端中心通过Z轴与Z轴马达的输出端连接,Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端,Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。本发明能有效避免当Z轴运动到压力触点后继续上升1~15μm的距离,解决了点测针痕质量差、探针使用寿命短、测试结果的准确度降低等缺点。
搜索关键词: 一种 自动控制 运动 led 探针 台寻边器
【主权项】:
一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器,其特征在于:在机架上设置上固定支架和下固定支架,所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定连接,在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针,在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台,所述承片台的下端中心连接Z轴,Z轴连接在固定于机架上的Z轴马达的输出端,在机架上还连接Z轴PC控制中心,所述Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端,Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。
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