[发明专利]一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器在审
申请号: | 201610220154.0 | 申请日: | 2016-04-11 |
公开(公告)号: | CN105842603A | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 肖和平;陈亮;马祥柱;陈宝;杨凯 | 申请(专利权)人: | 扬州乾照光电有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人: | 江平 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器,属于LED芯片点测设备技术领域,在机架上设置上固定支架和下固定支架,在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针,在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台,承片台的下端中心通过Z轴与Z轴马达的输出端连接,Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端,Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。本发明能有效避免当Z轴运动到压力触点后继续上升1~15μm的距离,解决了点测针痕质量差、探针使用寿命短、测试结果的准确度降低等缺点。 | ||
搜索关键词: | 一种 自动控制 运动 led 探针 台寻边器 | ||
【主权项】:
一种自动控制Z轴运动的LED探针台寻边器,其特征在于:在机架上设置上固定支架和下固定支架,所述上固定支架和下固定支架的后端相互固定连接,在上固定支架的前端通过探针夹座连接探针,在上固定支架下方的下固定支架上设置压力感应器;在探针下方布置承片台,所述承片台的下端中心连接Z轴,Z轴连接在固定于机架上的Z轴马达的输出端,在机架上还连接Z轴PC控制中心,所述Z轴PC控制中心的一个输出端连接在Z轴马达的工作控制端,Z轴PC控制中心的一个输入端连接压力感应器的信号输出端。
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