[发明专利]压印装置及物品制造方法有效
| 申请号： | 201610204848.5 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN106054517B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 古卷贵光;薄井义行;林望 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该用于在压印材料上形成图案的压印装置包括对准单元，所述对准单元检测形成标记对的、模具上形成的模具侧标记和基板上形成的基板侧标记，并基于检测结果将所述模具和所述基板对准。所述对准单元通过使用对第一标记对的检测结果和对与所述第一标记对不同的第二标记对的检测结果，获得在同一方向上所述第一标记对的位置偏差信息和所述第二标记对的位置偏差信息；通过使用所述第一标记对的位置偏差信息和所述第二标记对的位置偏差信息，获得确定值；并且在所述确定值不在容许范围内的情况下，确定标记检测异常。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压印装置，其被构造为使基板上的压印材料与模具相互接触，以在所述压印材料上形成图案，所述压印装置包括对准单元，所述对准单元对形成标记对的、所述模具上形成的模具侧标记和所述基板上形成的基板侧标记进行检测，并基于检测结果将所述模具和所述基板对准，其中，所述对准单元通过使用对第一标记对的检测结果和对与所述第一标记对不同的第二标记对的检测结果，获得在同一方向上所述第一标记对的位置偏差信息和所述第二标记对的位置偏差信息；通过使用所述第一标记对的位置偏差信息和所述第二标记对的位置偏差信息，获得确定值；并且在所述确定值不在容许范围内的情况下，确定标记检测异常。
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