[发明专利]膜厚的检测装置

摘要

本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括至少一个公共电极与至少一个检测芯片，各检测芯片包括：检测电极阵列，包括多个检测电极且与公共电极在第一方向上相对且间隔设置；复位单元，与检测电极阵列中的各检测电极电连接并将其上的电信号复位；初始放大单元，与各检测电极电连接且用于放大电信号；移位控制单元，与初始放大单元电连接，用于控制电信号的输出顺序；扫描位总线，包括多个扫描连接点，一个扫描连接点与移位控制单元电连接；逻辑控制单元，用于接收外界的输入信号、产生控制检测芯片的控制信号与输出检测信号。该装置的检测精度较高。

主权项

一种膜厚的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括至少一个公共电极与至少一个检测芯片，其中，各所述检测芯片包括：检测电极阵列，与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，所述公共电极与所述检测电极阵列之间的间隔构成待测膜的传输通道，所述检测电极阵列包括多个检测电极；复位单元，与所述检测电极阵列中的各所述检测电极电连接，用于将各所述检测电极的电信号进行复位；初始放大单元，与所述检测电极阵列中的各所述检测电极电连接，所述初始放大单元用于放大各所述检测电极的电信号；移位控制单元，与所述初始放大单元电连接，所述移位控制单元用于控制放大后的多个所述电信号的输出顺序；扫描位总线，包括多个扫描连接点，一个所述扫描连接点与所述移位控制单元电连接；以及逻辑控制单元，用于接收外界的输入信号、产生控制所述检测芯片的控制信号与输出检测信号。