[发明专利]压印设备及方法、物品制造法和获得布置图案信息的方法有效
| 申请号： | 201610195895.8 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106019822B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | P·D·休梅克;Y·斯里尼瓦桑;田村正浩;山崎拓郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压印设备及方法、物品制造法和获得布置图案信息的方法，压印设备包括：供给装置，构造成将压印材料供给到基片上；以及处理器，构造成获得基片上压印材料的布置图案信息，其中，处理器构造成基于与模具的第一部分对应的布置图案信息和与模具的第二部分对应的布置图案信息来获得与第一部分与第二部分之间分界部对应的布置图案信息。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 设备 方法 物品 制造 获得 布置 图案 信息 | ||
【主权项】：
一种压印设备，利用模具在基片上成型压印材料以在基片上形成图案，该压印设备包括：供给装置，构造成将压印材料供给到基片上；以及处理器，构造成获得基片上压印材料的布置图案信息，其中，处理器构造成基于与模具的第一部分对应的布置图案信息和与模具的第二部分对应的布置图案信息来获得与第一部分与第二部分之间分界部对应的布置图案信息。
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