[发明专利]一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用

摘要

一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器、制备方法及其应用，属于气体传感器技术领域。依次由单晶硅衬底、二氧化硅层、钛黏附层、叉指铂电极、在二氧化硅层和叉指铂电极表面涂覆的气体敏感薄膜组成；钛黏附层与叉指铂电极的结构相同，气体敏感薄膜为石墨烯/二氧化锡/氧化锌三元复合材料；该三元复合材料由石墨烯、二氧化锡和氧化锌混合而成，为三维多孔结构。气体敏感薄膜接触待测气体前后，其电阻会发生变化，通过测量叉指铂电极间电阻的变化，可以获得传感器的灵敏度。该传感器在室温下具有很高的响应灵敏度、快速的响应恢复速率和良好的响应可逆性，解决了二氧化锡和氧化锌气体传感器需要在高温下才能工作的问题。

主权项

1.一种基于石墨烯/二氧化锡/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器，依次由单晶硅衬底、二氧化硅层、钛黏附层、叉指电极、在二氧化硅层和叉指电极表面涂覆的气体敏感薄膜组成，钛黏附层与叉指电极的结构相同；其特征在于：叉指电极为铂电极，气体敏感薄膜为石墨烯/二氧化锡/氧化锌三元复合材料；该三元复合材料由石墨烯、二氧化锡和氧化锌混合而成，其质量比为1：5～100：1～50，三元复合材料为三维多孔结构，孔尺寸为3～10nm，BET比表面积为100～230m2/g。