[发明专利]一种尖晶石型Co1-xMnxFe2O4铁磁性薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种尖晶石型Co_1‑xMn_xFe₂O₄铁磁性薄膜及其制备方法，包括以下步骤：将硝酸钴、醋酸锰和硝酸铁按摩尔比为1‑x:x:2(x＝0.1～0.5)溶于乙二醇甲醚和醋酸酐中，搅拌得到Co_1‑xMn_xFe₂O₄前驱液，用旋涂法和逐层退火的工艺在基片上制备出致密度高晶粒尺寸均匀的沿(311)晶面择优取向生长的尖晶石型Co_1‑xMn_xFe₂O₄铁磁性薄膜。本发明采用溶胶凝胶工艺，设备要求简单，实验条件容易达到，适宜大面积成膜，且化学组分精确可控，并且可通过Mn元素掺杂量对Co_1‑xMn_xFe₂O₄铁磁性薄膜的铁磁性能进行调控。

主权项

1.一种尖晶石型Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将硝酸钴、醋酸锰和硝酸铁按摩尔比为1‑x:x:2溶于乙二醇甲醚中，x＝0.1～0.5，搅拌均匀后再加入醋酸酐，得到Co1‑xMnxFe2O4前驱液；步骤2：采用旋涂法在基片上旋涂Co1‑xMnxFe2O4前驱液，得到Co1‑xMnxFe2O4湿膜，Co1‑xMnxFe2O4湿膜经匀胶后在250～300℃下烘烤得干膜，再于630～700℃下在空气中退火，得到晶态Co1‑xMnxFe2O4薄膜；步骤3：待晶态Co1‑xMnxFe2O4薄膜冷却后，在晶态Co1‑xMnxFe2O4薄膜上重复步骤2，直至达到所需厚度，即得到尖晶石型Co1‑xMnxFe2O4铁磁性薄膜。