[发明专利]基于声表面波的微位置传感器在审
| 申请号： | 201610179914.8 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN107228641A | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张凯 | 申请（专利权）人： | 成都灯岛科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/00 | 分类号： | G01B17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于声表面波的微位置传感器，包括方型的压电基底(1)，压电基底(1)垂直方向上的两个侧面的内壁上相对应地设有第一声表面波发射器(2)和第一声表面波接收器(3)，压电基底(1)水平方向上的两个侧面的内壁上相对应地设有第二声表面波发射器(4)和第二声表面波接收器(5)，所述的第一声表面波发射器(2)、第一声表面波接收器(3)、第二声表面波发射器(4)和第二声表面波接收器(5)分别位于压电基底(1)的四个角的位置，压电基底(1)的四个侧面的内壁上均设有反射栅(6)。本发明的微位置传感器是利用声表面波的发射与接收原理制作而成，体积小、灵敏度高、测量精度高且不易受噪声影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面波 位置 传感器 | ||
【主权项】：
基于声表面波的微位置传感器，其特征在于，包括方型的压电基底(1)，压电基底(1)垂直方向上的两个侧面的内壁上相对应地设有第一声表面波发射器(2)和第一声表面波接收器(3)，压电基底(1)水平方向上的两个侧面的内壁上相对应地设有第二声表面波发射器(4)和第二声表面波接收器(5)，所述的第一声表面波发射器(2)、第一声表面波接收器(3)、第二声表面波发射器(4)和第二声表面波接收器(5)分别位于压电基底(1)的四个角的位置，压电基底(1)的四个侧面的内壁上均设有反射栅(6)。
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