[发明专利]与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物在审
| 申请号： | 201610177374.X | 申请日： | 2010-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105824197A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | A·赞皮尼;G·B·韦顿;V·简恩;刘骢;S·克雷;O·昂格伊 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C08G73/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物，其中该涂料组合物包含一种包含氰尿酸酯基团和疏水性基团的树脂。所述涂料组合物可以增强外涂光刻胶浮雕像的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
一种与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物，该涂料组合物包含一种包含氰尿酸酯基团和疏水性基团的树脂，所述树脂由具有疏水性基团的单体和氰尿酸酯化合物反应而制得，所述氰尿酸酯化合物的多个氰尿酸酯氮环原子被不同的羧基和/或羧基酯基取代，所述树脂包含聚酯键，所述氰尿酸酯化合物对应于下列式I：![]()
其中所述基团R1OOC(CX2)n‑、R2‑和R3OOC(CX2)m‑中至少两个是不同的酸或酯基团；R1、R2、R3和X各自独立地是氢或非氢取代基；R1、R2和R3中至少一个具有一个或多个卤素原子；和n和m相同或不同，各自是一个整数。
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