[发明专利]一种光刻胶喷涂装置在审
| 申请号： | 201610169134.5 | 申请日： | 2016-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN105842991A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 曾宪祥;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻胶喷涂装置，包括涂胶头，所述涂胶头在入口中部内置一个用于缓冲光刻胶的腔体；所述腔体内置有一个用于调节光刻胶流量的旋转卡槽；所述涂胶头在所述腔体的下部出口与喷嘴之间设置有多条出胶支路。通过加宽光刻胶流通的通道以缓冲大量的光刻胶，并且，通过内置旋转卡槽实现光刻胶的出口量的调节并排出出口处的空气。本发明提供的旋转卡槽为扇形柱状装置，光刻胶的压力使得卡槽扇形缺口向下旋转一定角度，使得大量光刻胶获得缓冲后才流到出口，从而可以得到流量控制的效果，通过改变输送光刻胶的泵的压力可以改变涂胶的膜厚，并且可以通过设置多条出胶支路确保喷涂出胶的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷涂装置，包括涂胶头，其特征在于，所述涂胶头在入口中部内置一个用于缓冲光刻胶的腔体；所述腔体内置有一个用于调节光刻胶流量的旋转卡槽；所述涂胶头在所述腔体的下部出口与喷嘴之间设置有多条出胶支路。
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