[发明专利]一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺有效
| 申请号： | 201610159376.6 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN105603509B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王强;徐建均;吴亭溪;陈云;邓洁;刘培生 | 申请（专利权）人： | 南通大学;南通友拓新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/14 | 分类号： | C30B11/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司11340 | 代理人： | 王泽云 |
| 地址： | 226019 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺，主要步骤包括在平底坩埚底部籽晶碎块；将拼接好的平板籽晶块整体放入坩埚，使平板籽晶块外边缘与坩埚内壁之间留有均匀的间隙；将边框籽晶块沿着坩埚四周内壁插入平板籽晶块外边缘与坩埚内壁之间的间隙并下压，使边框籽晶块的压块压住平板籽晶块；在籽晶块上铺设硅料；将坩埚放入铸锭炉内并抽真空；通过熔化阶段的温度控制，使硅料熔融渗入拼接缝隙，籽晶从与硅液接触的面开始逐渐熔化；经定向散热，在未熔化籽晶上实现硅锭的定向生长，获得类单晶铸锭。使用本发明工，拼接面缝隙能够得到很好的控制，提高了单晶面积比例；并且由于边框籽晶块的限位作用，防止籽晶块受热翘起，提高铸锭质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 定向 凝固 铸锭 单晶硅 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺，其特征在于步骤如下：T1、在平底坩埚底部铺设籽晶碎块；T2、将拼接好的平板籽晶块整体放入坩埚，使平板籽晶块外边缘与坩埚内壁之间留有均匀的间隙；T3、将边框籽晶块沿着坩埚四周内壁插入平板籽晶块外边缘与坩埚内壁之间的间隙并下压，使边框籽晶块的压块压住平板籽晶块；T4、在籽晶块上铺设硅料；T5、将坩埚放入铸锭炉内并抽真空；T6、通过熔化阶段的温度控制，使硅料熔融渗入拼接缝隙，籽晶从与硅液接触的面开始逐渐熔化；T7、经定向散热，在未熔化籽晶上实现硅锭的定向生长，获得类单晶铸锭;所述边框籽晶块呈倒L型，边框籽晶块上端向内延伸形成压块，用于压住平板籽晶块的周边。
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