[发明专利]一种基板的检测装置在审
申请号: | 201610151397.3 | 申请日: | 2016-03-16 |
公开(公告)号: | CN105806847A | 公开(公告)日: | 2016-07-27 |
发明(设计)人: | 宋志明;罗少先;王珏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/89 | 分类号: | G01N21/89 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基板的检测装置,由于在光发射器与光反射器之间以及光接收器与光反射器之间分别增设第一偏振片和第二偏振片,两偏振片的透光轴方向互不平行,光反射器具有偏振转换作用,这样,在光发射器发出的光经过第一偏振片后入射到基板上的金属走线时,一部分光线被金属走线反射至第二偏光片,另一部分光线入射到光反射器,被金属走线反射的光由于没有经过光反射器发生偏振转换会被第二偏振片吸收而不会进入光接收器,入射到光反射器的光被反射后偏振方向发生转变可以经过第二偏振片被光接收器接收,这样,可以避免由于被金属走线反射的光进入光接收器而导致误判,从而可以准确检测基板的边缘是否存在破损。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种基板的检测装置,包括:光发射器、光反射器、光接收器、与所述光接收器连接的信号转换器、以及与所述信号转换器连接的处理器;其中,所述光反射器用于将所述光发射器发出的光反射至所述光接收器;所述信号转换器用于接收所述光接收器发出的光信号后向所述处理器输出电信号;所述处理器用于根据接收的所述电信号确定所述基板的边缘是否存在破损;其特征在于:还包括:位于所述光发射器与所述光反射器之间的第一偏振片和位于所述光接收器与所述光反射器之间的第二偏振片;其中,所述第一偏振片的透光轴方向与所述第二偏振片的透光轴方向的夹角大于零且小于或等于90°;所述光反射器具有偏振转换作用,能使反射后光的偏振方向平行于所述第二偏振片的透光轴方向。
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