[发明专利]电光装置、电光装置的制造方法及电子设备有效
| 申请号： | 201610151350.7 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN106054375B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 伊藤智 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种电光装置、电光装置的制造方法及电子设备，能够在支撑镜的镜支撑部不残留牺牲层而高效地形成表面没有大的凹陷的镜。电光装置(100)的扭转铰链(35)和镜支撑部(38)一体地形成于导电部件(31)，在镜支撑部(第二支撑部)(38)中，基板(1)侧的第一端部(381)为朝向基板(1)开口的开放端。在镜支撑部(38)中，镜(51)侧的第二端部(382)为堵住镜支撑部(38)的开口的平板部(385)，镜(51)和平板部(385)的与基板(1)相反的一侧的面接触。使用于该电光装置(100)的制造的第一牺牲层(21)通过向感光性抗蚀剂进行曝光、显影而形成。 | ||
| 搜索关键词： | 电光 装置 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
1.一种电光装置，其特征在于，具有：基板；第一支撑部，在所述基板的一个面侧朝向所述基板突出并支撑于所述基板；导电部件，一体地形成有经由所述第一支撑部支撑于所述基板侧的扭转铰链和从所述扭转铰链向与所述基板相反的一侧突出的筒状的第二支撑部，所述第二支撑部的所述扭转铰链侧的第一端部为向所述基板开放的开放端；以及镜，接触于所述第二支撑部的与所述基板相反一侧的第二端部，所述第二端部为堵住所述第二支撑部的开口的平板部。
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