[发明专利]一种白光干涉原子力探针系统的成像自动调整装置及其控制方法

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系统的成像自动调整装置自动及其控制方法，该装置主要包括计算机，夹持机构及铰链机构，原子力探针及其探针组件，白光干涉显微系统，面CCD光路连接筒。在白光干涉原子力探针显微镜连接完成的情况下，根据面CCD上探针的成像与面CCD坐标系的水平夹角，通过计算机来控制舵机偏转一定的角度，使得原子力探针在面CCD中的成像与面CCD坐标系中的夹角在误差范围内，从而得到测量的结果有较小的测量误差。本发明可以实现探针在面CCD中的成像的自动调整，具有便捷控制，控制精度高，操作简单的优势。

主权项

一种基于白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系统的成像自动调整装置，其特征在于，其中白光干涉原子力探针扫描显微镜探针系统包括面CCD测量系统(8)、原子力扫描探针(1)及其探针组件(2)、白光干涉显微系统(11)以及计算机(12)；所述原子力探针组件(2)通过机架(4)固定，垂直电机位移平台(5)设置于所述机架(4)之上用于实现所述原子力探针组件(2)的调整，所述机架(4)一侧通过面CCD光路连接筒(6)与所述面CCD测量系统(8)联通，通过一夹持机构(7)夹持所述面CCD光路连接筒(6)与舵机(10)相连，通过所述舵机(10)实现所述面CCD光路连接筒(6)的调整从而调整成像；所述白光干涉显微系统(11)接收所述计算机(12)的控制产生测试的白光干涉光源传输于所述原子力扫描探针组件(2)的微悬臂上形成白光干涉条纹，其包含所述原子力探针组件上的所述探针(1)的形变信息，所述面CCD测量系统(8)接收所述白光干涉系统(11)形成的图像，并且实时计算所述探针(1)在所述面CCD测量系统(8)中的夹角变化；所述计算机(12)还包括舵机控制模块及面CCD测量系统控制模块，所述舵机控制模块接收所述计算机(12)的指令来实现所述舵机(10)的运动从而实现成像的自动调整，所述面CCD测量系统控制模块控制所述面CCD测量系统(8)完成成像图像采集及成像夹角的实时计算。