[发明专利]基底外壳的类金刚石碳涂层有效
| 申请号： | 201610131320.X | 申请日： | 2007-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN105820364A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 文圣仁;C·埃克斯特伦德 | 申请（专利权）人： | 安格斯公司 |
| 主分类号： | C08J7/06 | 分类号： | C08J7/06;C09D1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施方案包括制品，其包含在塑料基底或塑料外壳的一个或多个表面上的类金刚石碳涂层或经掺杂的类金刚石碳涂层。相比于单独塑料，DLC或掺杂DLC涂层的实施方案降低了所述涂层塑料或热塑性塑料对氢气或氦气的气体渗透性。DLC或掺杂DLC涂层的表面电阻率为约107‑约1014欧姆/平方，在约300nm‑约1100nm下，其透光率比下层塑料基底的透光率低0％‑70％。DLC涂层塑料可以用于环境外壳以保护对环境敏感的基底如半导体晶片和掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 外壳 金刚石 涂层 | ||
【主权项】：
一种基底载体，其包括：热塑性塑料和在所述热塑性塑料的一个或多个表面上粘附的类金刚石碳涂层或经掺杂的类金刚石碳涂层，所述粘附的类金刚石碳涂层或经掺杂的类金刚石碳涂层包括8.1原子百分比或更高的氧和9.7原子百分比或更低的氮，且表面电阻率为107‑1014欧姆/平方，而且对于300nm‑1100nm的光，所述粘附的类金刚石碳涂层或经掺杂的类金刚石碳涂层的透光率比所述热塑性塑料低0％‑70％，且进一步其中所述粘附的类金刚石碳涂层或经掺杂的类金刚石碳涂层具有脱气性能，以便如果其施用到未涂覆硅基底上，其将在2％的未涂覆硅基底内脱气。
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