[发明专利]一种不规则零件的圆形密封面抛光治具有效
| 申请号： | 201610130825.4 | 申请日： | 2016-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN105619228B | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 安朋娜 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 吕敏 |
| 地址： | 110168 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，属于半导体表面处理加工技术领域。包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合。本发明能有效对不规则零件的圆形密封面进行转盘抛光。拆卸简便易固定，进一步提升了密封面的抛光效率及抛光品质。 | ||
| 搜索关键词： | 转盘底座 不规则零件 纵向固定杆 径向轨道 横向固定杆 圆形密封面 螺母固定 抛光治具 抛光转盘 半导体表面处理 螺母 加工技术领域 抛光品质 抛光效率 圆心重合 圆形密封 圆周对称 圆心 抛光 固定柱 螺纹孔 侧壁 置入 转盘 装夹 拆卸 密封 | ||
【主权项】：
1.一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，其特征在于：包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合；所述径向轨道截面结构与纵向固定杆配合，所述纵向固定杆在径向轨道中自由移动；所述横向固定杆的圆柱杆上带有与转盘底座侧壁螺纹孔相匹配的螺纹；所述纵向固定杆为由上到下为逐渐变小的三阶阶梯截面，所述纵向固定杆的柄端一侧与零件接触，另一侧与横向固定杆接触，杆端开有与纵向固定杆螺母相匹配的螺纹。
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