[发明专利]靶在审
| 申请号： | 201610127385.7 | 申请日： | 2016-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN105937020A | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 高岛洋;藤本光晴;上野英;上滩真史;陈宏亮;邱建仁 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使使用矩形条状靶材，也能够扩大因溅射而形成的浸蚀区域，且利用效率高，制造成本低的新靶。该靶是靶材和垫板借助接合件接合而成的，该靶材呈矩形条状，其溅射面及所述溅射面的背面呈平坦的形状，该垫板的与该靶材相接合的面呈平坦的形状，在所述靶材的长边方向两端部且是在所述靶材和所述垫板之间，沿着所述靶材的长边方向两端部的外周部配置板状的分路件，所述靶材及所述垫板借助接合件与所述分路件相接合。 | ||
| 搜索关键词： | 靶 | ||
【主权项】：
一种靶，其特征在于，该靶是靶材和垫板借助接合件接合而成的，该靶材呈矩形条状，其溅射面及所述溅射面的背面呈平坦的形状，该垫板的与该靶材相接合的面呈平坦的形状，在所述靶材的长边方向两端部且是在所述靶材和所述垫板之间，沿着所述靶材的长边方向两端部的外周部配置板状的分路件，所述靶材及所述垫板借助接合件与所述分路件相接合。
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