[发明专利]一种光热弱吸收测试系统及方法有效
| 申请号： | 201610121294.2 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN105738372B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 王凤蕊;刘红婕;李青芝;黄进;耿锋;孙来喜;蒋晓东;叶鑫;周晓燕 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光热弱吸收测试系统及方法，应用于光学元件的吸收缺陷测试领域，所述光热弱吸收测试系统包括离轴抛物镜、样品台、探测器、探测光源以及多个泵浦光源，所述多个泵浦光源发出的泵浦光的波长不尽相同；所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光经所述离轴抛物镜反射后均聚焦到安装在样品台上的待测样品的预设待测点处，所述探测光源发出的探测光也聚焦到所述待测样品的预设待测点处，透过所述待测样品的探测光进入所述探测器，从而得到所述待测样品对所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光的吸收。本发明实施例提供的光热弱吸收测试系统及方法有效地实现了多个波长的泵浦激光共同作用时光学材料表面、亚表面及光学膜层的微弱吸收测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光热 吸收 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光热弱吸收测试系统，其特征在于，包括：离轴抛物镜、样品台、探测器、探测光源、光路调节模块以及多个泵浦光源，待测样品安装在所述样品台上，所述样品台用于调节所述待测样品的位置，所述光路调节模块设置于所述多个泵浦光源与所述离轴抛物镜之间，所述多个泵浦光源发出的泵浦光的波长不尽相同；所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光均入射到所述光路调节模块，经所述光路调节模块调节后的所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光的光轴均与预设光轴重合，由所述光路调节模块出射的泵浦光经所述离轴抛物镜反射后偏离所述预设光轴聚焦到所述待测样品的预设待测点处，其中，所述预设光轴与所述离轴抛物镜的光轴重合或平行，所述探测光源发出的探测光也聚焦到所述待测样品的预设待测点处，透过所述待测样品的探测光进入所述探测器；所述探测器用于根据所接收到的探测光得到所述待测样品对所述多个泵浦光源分别发出的泵浦光的吸收。
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