[发明专利]一种表面波等离子体装置在审
| 申请号： | 201610121051.9 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107155256A | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 昌锡江;区琼荣;韦刚;黄亚辉 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面波等离子体装置，利用连接腔连接谐振腔和矩形波导，将螺钉探针经由矩形波导和连接腔伸入谐振腔内部，从而将微波能量馈入连接腔和谐振腔，通过在谐振腔的底壁设置多个石英窗口，使得微波在谐振腔内形成的驻波的电场能够通过各石英窗口耦合进入真空腔室，并在真空腔室内激发等离子体；多个石英窗口可以等效为多个等离子体源，相对于现有的单一等离子体源来说，可以使真空腔室内等离子体大面积均匀化，从而满足大尺寸的晶片加工需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
一种表面波等离子体装置，包括：用于产生微波的微波发生装置、微波传输匹配结构和真空腔室，所述微波传输匹配结构包括矩形波导，用于传输所述微波发生装置产生的微波，其特征在于，所述装置还包括：连接腔、谐振腔和螺钉探针，所述连接腔连通所述矩形波导和所述谐振腔的顶部，所述螺钉探针依次贯穿所述矩形波导和连接腔，并伸入所述谐振腔的内部；所述谐振腔的底壁设置有多个石英窗口，且与所述真空腔室相连并密封。
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