[发明专利]一种石英基板底厚快速测量方法在审
| 申请号： | 201610116781.X | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN105588489A | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张泳翔;许建 | 申请（专利权）人： | 南通永明光纤材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226363 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英基板底厚快速测量方法，根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片，将垫片与底座固定，首先校正零位，即放下把手时，测头与垫片表面接触，把百分表清零校正，然后可以开始逐个测量：抬起把手，将待测基板倒置放在垫片上，再放下把手，读出百分表读数，就是测得的基板底厚数值。本发明具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 基板底厚 快速 测量方法 | ||
【主权项】：
一种石英基板底厚快速测量方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片；（2）将垫片与底座固定；（3）首先校正零位，即放下把手时，测头与垫片表面接触，把百分表清零校正；（4）然后可以开始逐个测量：抬起把手，将待测基板倒置放在垫片上，再放下把手，读出百分表读数，就是测得的基板底厚数值。
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