[发明专利]基于表面氧化控制转移印刷的PDMS弹性体微纳加工方法

摘要

本发明公开了一种基于表面氧化控制转移印刷的PDMS弹性体微纳加工方法，包括利用浇筑法或旋涂法制备厚度可调的PDMS膜作为转移印刷的基底；利用复制模铸法制备带有表面微结构的PDMS膜作为转移印刷的印章；对基底或对印章进行表面氧化处理，引入PDMS印章和平面PDMS基底间内聚能差异获得硬/软或是软/硬的印章基底组合，并对该组合同时进行表面活化处理和加热处理提高两者间的接触粘附作用；取下印章，使二者分离时“软方”发生内聚能断裂提供PDMS“墨水”转移至“硬方”，从而得到表面具有复杂精细的可控的凹陷或凸起图案的PDMS膜。本发明操作简便，成本低，避免了其他相关技术适用范围有限、加工图案简单的缺点。

主权项

一种基于表面氧化控制转移印刷的PDMS弹性体微纳加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、利用浇筑法或旋涂法制备厚度可调的PDMS膜，作为转移印刷的基底；步骤二、利用复制模铸法制备带有表面微结构的PDMS膜，作为转移印刷的印章；步骤三、对步骤一制备得到的基底或对步骤二制备得到的印章进行表面氧化处理，从而获得一组硬印章/软基底组合或是一组软印章/硬基底组合；步骤四、将经过步骤三获得的一组硬印章/软基底组合或是一组软印章/硬基底组合中的印章和基底同时进行表面活化处理；然后立即将处理后的印章和基底贴合并在鼓风干燥箱中加热保温一定时间；随炉冷却至室温，取下印章，得到表面具有凹陷或凸起图案的PDMS膜。