[发明专利]卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法

摘要

本发明涉及一种卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法，测量装置包括干涉仪、基座、支架、六自由度调整架、CGH、一维调整平台、被测件、自定心旋转台、转接板、夹具体、顶尖、一维移动导轨、二轴倾斜调整台和二维移动平台。测量方法是通过调整各个移动平台，实现被测件表面全部形貌信息的获取。本发明有效地解决了大尺寸轴类零件采用干涉拼接方法测量圆柱度误差检测中的装夹以及位姿调整等问题，可实现柱面零件表面全貌信息的获取，充分提高轴类零件圆柱度误差评定的采样密度，进而提高评定结果的准确性与可靠性。能够方便、快速、准确、有效地调整被测件的位姿以满足测量要求，实现其全口径检测。

主权项

一种卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置，其特征在于：包括干涉仪（1）、基座（2）、支架（3）、六自由度调整架（4）、CGH（5）、一维调整平台（6）、被测件（7）、自定心旋转台（8）、转接板（9）、夹具体（10）、顶尖（11）、一维移动导轨（12）、二轴倾斜调整台（13）和二维移动平台（14）；所述基座（2）固定于支架（3）上，基座（2）上安装干涉仪（1）和一维调整平台（6），一维调整平台（6）上安装六自由度调整架（4），将CGH（5）安装在六自由度调整架（4）上，使干涉仪（1）出射光轴能够通过CGH（5）中心，并且通过调节六自由度调整架（4）来调整CGH（5）的位姿，调节一维调整平台（6）来调整CGH（5）与被测件（7）之间的距离；由所述自定心旋转台（8）、转接板（9）、夹具体（10）、顶尖（11）、一维移动导轨（12）、二轴倾斜调整台（13）和二维移动平台（14）组成被测件调节机构，被测件调节机构下端是二维移动平台（14），二维移动平台（14）上面安装二轴倾斜调整台（13），夹具体（10）安装在二轴倾斜调整台（13）上，自定心旋转台（8）固定在夹具体（10）上，被测件（7）通过转接板（9）与自定心旋转台（8）的固结，一维移动导轨（12）安装在夹具体（10）上，其导轨方向与自定心旋转台（8）的轴线重合，顶尖（11）安装于一维移动导轨（12）上，沿导轨方向移动顶尖（11）实现被测件（7）的装夹与拆卸，通过自定心旋转台（8）以及顶尖（11）的定心作用保证被测件（7）的轴线与其旋转轴线重合，通过调节自定心旋转台（8）调整被测件（7）的周向位置，通过调节二维移动平台（14）调整被测件（7）的轴向移动。