[发明专利]具备鼓风机的激光振荡器

摘要

提供一种具备鼓风机的激光振荡器，在以往技术中，问题在于，解除激光振荡器的暂时停止，在开始生成激光时，激光介质的压力由于热影响等上升至生成激光时的压力目标值以上。激光振荡器具备控制部、激光介质流路、谐振器部、鼓风机、压力检测部、激光介质供排部以及暂时停止指令部。当被指示暂时停止时，控制部控制谐振器部使激光的生成动作停止，控制鼓风机使该鼓风机的转速从第一转速减速至第二转速，控制激光介质供排部使得压力成为第二目标值。将第二目标值设定为比鼓风机的转速成为第二转速的时刻的压力低的值。

主权项

一种激光振荡器，其特征在于，具备：控制部；激光介质流路，其形成激光介质的流路；谐振器部，其使用流过上述激光介质流路的上述激光介质生成激光；鼓风机，其使上述激光介质在上述激光介质流路中流动；压力检测部，其检测上述激光介质流路中的上述激光介质的压力；激光介质供排部，其向上述激光介质流路供给上述激光介质，从上述激光介质流路排出上述激光介质；以及暂时停止指令部，其向上述控制部指示上述谐振器部的激光生成的暂时停止，在上述暂时停止指令部指示暂时停止前，上述控制部控制上述鼓风机使得上述鼓风机以预定的第一转速进行旋转，并且控制上述激光介质供排部使得上述压力成为第一目标值，如果通过上述暂时停止指令部指示暂时停止，则上述控制部控制上述谐振器部来停止激光的生成动作，控制上述鼓风机而使该鼓风机的转速减速至小于上述第一转速的第二转速，控制上述激光介质供排部，使得上述压力成为比上述鼓风机的转速成为上述第二转速的时刻的上述压力更低的第二目标值，当将上述第一目标值设为P1、将上述第二目标值设为P2、将上述鼓风机的转速成为上述第二转速的时刻的上述压力设为Pn、将在上述控制部使停止了的上述谐振器部的动作重新开始时的上述压力的上升幅度设为ΔPa时，使用P2＝Pn‑Pn×ΔPa/P1的式子求出上述第二目标值P2。