[发明专利]废气的燃烧式净化装置在审
| 申请号： | 201610076398.6 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN105864801A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 荒川秩;秋山敏雄;及川祐司;水野健太;长井一贵 | 申请（专利权）人： | 日本派欧尼株式会社 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘淼 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种燃烧式净化装置，其具备：使由半导体制造工序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧的燃烧室；在该燃烧室的下游侧的具有喷雾喷嘴的冷却室，其中，不需使用耐热性、耐腐蚀性优异的昂贵的特殊材料，即可高效地防止燃烧室与冷却室的结合部的法兰以及与燃烧室的边界附近的冷却室侧面壁变为高温。在前述那样的燃烧式净化装置中，将燃烧室与冷却室结合的法兰设为水冷法兰。或者，在冷却室的外周设置冷却水的流路。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 燃烧 净化 装置 | ||
【主权项】：
一种废气的燃烧式净化装置，其具备：使由半导体制造工序排出的废气中所含的有害成分进行燃烧的燃烧室；在该燃烧室的下游侧的具有喷雾喷嘴的冷却室，其特征在于，燃烧室的侧面壁与冷却室的侧面壁在各自的端部具备有法兰，在这些法兰之中，将燃烧室与冷却室结合的法兰中的任一方或双方是水冷法兰。
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