[发明专利]涂布装置在审
| 申请号： | 201610059267.7 | 申请日： | 2016-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN105880130A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 藤原久嘉 | 申请（专利权）人： | 东丽工程株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/06 | 分类号： | B05D3/06;B05B13/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供涂布装置，能够在刚进行UV固化液的涂布后照射UV光，而且能够自由地设定该UV光的照射量，由此能够高精度地形成UV固化液膜的膜厚。涂布装置构成为具有：平台，其具有载置基板的基板载置面；涂布单元，其一边相对于所述平台向一个方向相对地移动，一边对载置在所述基板载置面上的基板涂布UV固化液；UV照射部，其从所述平台的与所述基板载置面垂直的侧面侧照射UV光；以及反射部，其使所述UV照射部的UV光向基板载置面侧反射。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其特征在于，该涂布装置具有：平台，其具有载置基板的基板载置面；涂布单元，其一边相对于所述平台向一个方向相对地移动，一边对载置在所述基板载置面上的基板涂布UV固化液；UV照射部，其从所述平台的与所述基板载置面垂直的侧面侧照射UV光；以及反射部，其使所述UV照射部的UV光向基板载置面侧反射。
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